춘천시, 양자연구 핵심 장비 전자빔리소그래피 한림대에 구축

강원 춘천시는 양자 연구의 핵심 중 하나인 전자빔리소그래피(이하 EBL) 장비가 전국 두번째로 한림대 산학협력관에 구축된다고 13일 밝혔다.

이로써 강원특별자치도와 춘천시가 추진중인 양자정보 통신산업 생태계 조성사업이 탄력을 받게 됐다.

춘천시에 따르면 최근 EBL 장비가 한림대 산학협력관으로 운송돼 설치에 들어갔다.

해당 장비 구축은 도와 시가 30억원을 들여 강원테크노파크에 위탁해 추진하게 됐다.

EBL는 양자 연구와 장비 생산에 필수 장비로 대전 한국전자통신연구원(ETRI)에 이어 춘천이 전국 두 번째 설치다.

다양한 형태의 양자소자를 시험 제작할 수 있을 뿐 아니라 분석 기능까지 수행한다.

특히 반도체 공정 과정 중 식각공정이 핵심이다.

식각공정은 화학 약품의 부식 작용을 이용해 반도체 제작의 바탕이 되는 소재인 웨이퍼의 특정 물질을 제거하는 작업이다.

장비 설치에 약 6주가 소요되며 4∼5월 중 장비의 본격적인 가동을 알리기 위한 '나노융합 팹' 개소식을 열고 양자 산업을 활성화하기 위한 사업을 추진하게 된다.

특히 그동안 양자 분야 시제품 생산과 관련, 외국에 위탁했던 국내 기업들이 기술 유출의 위험 없이 저렴한 가격으로 해당 설비를 이용할 수 있을 것으로 시는 기대했다.

앞서 도와 시는 국내 양자 분야 선점을 위해 양자암호통신 시범인프라 구축, 양자기술 강원연구소 설립, 국제포럼, 경량형 무선 양자중계 플랫폼 개발사업, 양성센터 운영, 세미나, 사업화 실증사업 등을 추진해 왔다.

시 관계자는 13일 "이번 양자 정보 산업 인프라 구축을 발판 삼아 기술개발과 인력양성을 통해 향후 양자 클러스터 유치에 입지를 다져 첨단 지식산업도시 조성을 위한 교두보 역할을 하겠다"고 말했다.

연합뉴스 이상학 기자 hak@yna.co.kr

출처 : 춘천시, 양자연구 핵심 장비 전자빔리소그래피 한림대에 구축 - 연합뉴스